光譜儀的微小型化

微光學(xué)、微、微機(jī)械的結(jié)合產(chǎn)生出一類新的范圍很廣的器件——微型光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)，它也是機(jī)、電、光、磁、化學(xué)、傳感技術(shù)等多種技術(shù)的綜合。MOEMS日益成為新的光學(xué)工具，已經(jīng)對(duì)許多基于光學(xué)的儀器顯示出應(yīng)用前景。作為MOEMS的一種，微型光譜儀具有許多大型光譜儀所不具備的優(yōu)點(diǎn)，如重量輕、體積小、探測(cè)速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等，像普通光譜儀一樣微型光譜儀有著巨大的應(yīng)用市場(chǎng)，可以應(yīng)用在實(shí)驗(yàn)室化學(xué)分析、臨床醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)、監(jiān)測(cè)、航空航天遙感等領(lǐng)域，因而引起了人們廣泛的興趣。
微型光譜儀的實(shí)現(xiàn)可以應(yīng)用多種技術(shù)，常用的包括：采用新型濾光技術(shù)制作微型光譜儀；利用光纖的化學(xué)傳感性制成光纖探針進(jìn)行光譜分析；使用微細(xì)加工制作集成式微型光譜儀等。2采用新型濾光技術(shù)的微型光譜儀聲光可調(diào)濾光片(AOTF)是一種微型窄帶可調(diào)濾光片，是光譜儀微型化的一個(gè)方向，它通過(guò)改變施加在某種晶體上的射頻頻率來(lái)改變通過(guò)濾光片的光波長(zhǎng)，而通過(guò)AOTF光的強(qiáng)度可利用改變射頻的功率進(jìn)行精密、快速的調(diào)節(jié)。它的分辨率很高，目前可以達(dá)到0.0125nm，沒(méi)有可動(dòng)部件，波長(zhǎng)調(diào)節(jié)速度快、靈活性高。
美國(guó)Brimrose公司和Jet Propulsion實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合設(shè)計(jì)一種微型電晶體NIR光譜儀。這種基于AOTF的反射型近紅外微型光譜儀主要造用于航天領(lǐng)域，使用發(fā)光二極管(LED)陣列作為光源，光纖作為光波傳輸介質(zhì)，該光譜儀重量

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