關于微電子機械系統(tǒng)的力學問題研究論文

　　目前而言，微電子機械系統(tǒng)的應用在我國已普遍起來，其英文簡稱叫做IV1EMS，是當下被予以眾多關注的話題。在MEMS當中，力學問題是一個相當重要的問題，需要對其進行深入的研究，以解決它所相關的一些問題。通過這樣的分析和研究，最終實現MEMS的高效性以及最大價值。

　　一、微構件材料的基本力學性能研究

　　通常情況下，材料的微觀組織結構，是決定著材料力學性能的關鍵所在，也就是說材料力學性能要發(fā)生明顯變化，是依照材料微觀組織的結構特征發(fā)生尺度上的變化而決定的。這種因由結構特征發(fā)生變化而造成的性質變化現象。一般被叫做機制性的尺度效應。而在這種尺度效應下，納米銅在室溫之中呈現出來的超塑性得以實現。如今的MEMS當中，一般采用薄膜工藝完成構件材料的制備工作。借由工藝過程當中眾多因素的影響，所以就算是一樣的薄膜材料，力學性質通常也會體現出較大的差異性。對于一些質量要求較高且精度要求較高的MEMS設計來說，這些因素是尤為重要的。故此，需要在注意到各種相關因素的情況下進行微構件材料力學性能的研究，并且把力學分析、模擬以及實際測試結合起來，才可以找出并修正不同的影響，從而讓數據更加真實細致。

　　二、分析計算微構件的力學問題

　　對微機械構件的各種不同變化以及其運動規(guī)律的高效掌控，對微尺度之下表面與尺度效應的掌控。都是MEMS技術當中最主要也是比較難的問題，這也是設計功能得以實現的重要基礎。此外，在MK1V1S中采用微構件作為諧振件時，設計的一大要素便是固有頻率。在分析微構件的動力學過程中�？諝鈱ξ�構件運動時造成的阻力，以及結構上和溫度變化上造成的阻力，都會使得固有頻率產生改變，并且可以致使性能參數失穩(wěn)等。值得一提的是，在微構件的力學分析過程中，還必須重視殘余應力這個方面。整體來說，顧及到微尺度當中各種不同的力的運用機制，顯現微系統(tǒng)之中表現出的各種影響要素，再加上多種非線性因素存在的構件變形變化的規(guī)律，以及研究運動的規(guī)律，都是極為重要的。

　　三、微電子機械系統(tǒng)中的力學問題

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　　所謂粘附問題，實質就是微構件所具宥的間彈力對表面中近距離的接觸活動發(fā)生時產生的粘著力不能有效克服。微電子機械系統(tǒng)中發(fā)生粘附問題的現象苻很多，比如在加工過程當中結構的釋放，周圍的環(huán)境溫度發(fā)生變化，以及在運行當中表面產生近距離的接觸等。葙效降低表面接觸過程中的粘著力，并且提升機械構件所含彈性的恢復能力，是預防粘附問題的基礎思想。

　　亊實證明。微尺度之下的表面能和表面力確定著表面接觸的變化以及粘著因為存在表面力，所以實際的接觸面會變大，就算是零載荷狀態(tài)，也會致使接觸變形。現布的和DMT等模型，是基本的模型，是對經典Hertz接觸理論實施所謂計入的表面力修正工作。應對單峰的接觸，可以應用這些基本模型及?理論。眼下，對于抗粘附的相關研究當中，接觸表面改性，從而降低粘附力這種技術是最為高效的。基本的方式包含自組裝單分子膜，還荷氮化硅固體膜，以及表面疏水層、物理修飾等。

　�。ǘ�）微構件當中的疲勞磨損以及破壞

　　在微尺度之中，便面粗糙程度所起的作用就像細小的裂紋一樣，要研究疲勞破壞這個問題，就需要注意粗糙度所造成的影響。仔細觀察力學對于微米尺度和亞微米尺度材料細觀本構的關系研究，就可以研究到細小裂紋擴展的過程和破壞的現象。這是作為微構件相關疲勞研究的理論基礎。

　　微構件相關防磨損的工作，是為了保障系統(tǒng)長久且穩(wěn)定的運作。美國的Samlia實驗室在研究微型發(fā)動機時。從中得出，摩擦表面出現磨損或者咬死現象，是構件發(fā)生失效的一大主要因素。通過研究還發(fā)現，若周圍環(huán)境達到50%的濕度時，磨損比較低且粘附也比較低，這是由于摩擦副當中吸附水膜將表面實施了鈍化工作。所以形成潤滑的意義，在這當中，要是濕度上升，那么粘附幾率就會加大，若濕度下降至10%左右的時候，摩擦表面就可能發(fā)生嚴重的磨損。因此，微尺度之下所出現的磨損問題，在力學模型當中，必須全面考慮到表面的粗糙問題，環(huán)境濕度問題，以及化學和物理各方面的因素問題。

　　（三）多層材料之間發(fā)生層間脫裂的問題

　　介于加工工藝對微機械所造成的限制，當前的單層型結構的多晶硅構件僅僅只能完成存限的運動以及變形工作，雙層的還可以被制成可旋轉的?輪，而要到三層結構的才可以被許可裝配設計。不過，多層結構的材料常常出現脫裂問題，要解決這個問題，減少殘余應力以及加大界面當中的吸附力，并且降低接觸面的排斥力這些方面都是關鍵所在。

　　總而言之，對抗粘附的研究想要完成對構件“活動起來”這種問題的解決，必須要結合彈塑性力學以及接觸力學的相關理論，再加上對構件問彈和接觸兩力的控制。而實施減少摩擦的研究，為的是解決構件之中“平穩(wěn)運動”這個問題，這需要涉及到動力學加上潤滑力學，對構件運動的相關規(guī)律進行掌控。想讓構件使用期限夠長，解決這個問題需要抗疲勞研究以及對防磨損方面的研究。還有眾多有價值的研究，都需要與微電子機械系統(tǒng)緊密結合起來。

　　四、結束語

　　對微電子機械系統(tǒng)中力學問題的分析研究，是目前必須重視的一項研究，它關系著這個系統(tǒng)的發(fā)展前彔。只有通過大量實驗研究，仔細分析MEMS中存在哪些力學問題，采取荷效策略解決這些問題，才能使MEMS這種系統(tǒng)的應用實現高效化。

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